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| 光谱椭偏仪 | |
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| 主要功能及特色: 可变角度光谱椭偏仪可对各种材料（如半导体、绝缘材料、聚合物、金属、多层膜等）的特性进行非接触的无损检测分析。它具有很强的测量能力和广泛的通用性，其准确性高、分辨率高，并且具有很宽的光谱范围，可变波长和可变入射角度使得它具有灵活的测量能力。 |
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主要技术指标： 1. 光谱范围：
● 标准为240nm-1100nm; ● 紫外扩展至193nm; ● 近红外扩展至1700nm。 2. 入射角度：全自动、计算机控制进行调整，标准角度范围为20°～90°，精确度为0.01° 3. 精度：使用Auto Retarder在空气中测试时: ● Ψ:±0.03°,tan(Ψ): ±0.001; ● Δ:±0.2° ,cos(Δ): ±0.000006 4.重复性：在以75°入射角度测量厚度为30nm的Si/SiO²结构时: ● Ψ :±0.015°,Δ: ±0.08° |
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| 联系方式 | |
| 联系人: 陈涉 | |
| 电子邮件： schen@imech.ac.cn | |
| 联系电话： 010-82544137 | |