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集成显微分析系统
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主要功能及特色:
1. SEM做样品表面形貌观察、测量及样品失效分析
2. 进行SEM下实时在位的力学性能测试，可用于加载过程样品表面形貌、裂纹扩展等现象的在位跟踪观察测量
3. EDS测量样品微区的化学成份
4. EBSD测量样品局域的晶体空间取向，分析样品晶粒尺度和织构
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主要技术指标：
放大镜几十倍到30万倍连续可调，最高分辩率为 1.5 nm
有3个力传感器：2000 N、600 N、150 N
能谱：Be (4)- V (92)
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联系方式
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联系人:
谢季佳
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电子邮件：
Xiejj@lnm.imech.ac.cn
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联系电话：
010-82543921
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