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| 纳米压入和划入仪——MTS Nano Indenter | |
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| 主要功能及特色: 压入深度为微/纳米尺度，可获得块体材料、薄膜的杨氏模量和硬度等力学参量。也可用于MEMS/NEMS的力学测试。属微区、无损的表面力学分析技术。 |
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主要技术指标： 压入载荷量程： XP，500mN；DCM，10mN。 压入载荷分辨力：XP，50nN；DCM，1nN。 压针行程： 2mm。 位移分辨力： XP，<0.01nm；DCM，0.0002nm。 横向载荷分辨力：1.5μN。横向载荷噪声： 50μN。 |
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| 联系方式 | |
| 联系人: 张泰华 | |
| 电子邮件： zhangth@lnm.imech.ac.cn | |
| 联系电话： 010-82543950 | |