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近场光学显微镜
主要功能及特色:
扫描近场光学显微镜是近年来发展的表面检测仪器,能够突破传统光学显微镜的衍射极限,达到30至100 nm左右的解析度。
激光光束经由光纤探针发射至样品表面,在近场范围的焦距内可以深入穿透样品,通过透射或反射,可以观察样品深层次微小区域的结构信息,且不会破坏样品,所以十分适合于生物样品的研究。
主要技术指标:
样品扫描:横向为100×100μm² ;纵向为20μm,精度为1nm
样品定位:30×30mm²,遥控精密压电驱动,步距70nm
探针定位:遥控压电惯性驱动,5×5×10mm³,步距50nm
探针针孔直径:≈50nm
剪切力分辨:z:1nm,x/y:10nm
联系方式
联系人:
陈涉
电子邮件:
schen@imech.ac.cn
联系电话:
010-82544137