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| 长工作距干涉显微镜 | |
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| 主要功能及特色: 该长工作干涉显微镜是非接触式的表面形貌光学测量系统，它将干涉技术、长工作距显微镜技术、图像采集及处理技术、相移技术等相结合，实现纳米尺度的定量测量。该设备对机械振动、空气扰动以及温度变化等外界环境变化不敏感，适用宽。它的垂直测量分辨率可达50纳米量级，具有50 mm的工作距离。该设备的研制成功可以让我们观察到一般的光学显微镜难以分辨到的细节，应用于多种学科领域。 |
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主要技术指标： 横向分辨率：2.0 m 纵向分辨率：50.0 nm 图像采集速度：25 fps CCD分辨率：768576 或 10241024 光源：钨卤素灯照明系统或激光作为扩展光源 工作距离：大于 50 mm 设备型号：QM100-10230-MKⅢ-SZ 生产厂家：QUESTAR |
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| 联系方式 | |
| 联系人: 段俐 | |
| 电子邮件： duanli@imech.ac.cn | |
| 联系电话： 010-82544105 | |