适合于纳微尺度表面形貌的定量表征（如：粗糙度，剖面线统计分析，台阶高度等等）；探针针尖与样品间微小相互作用力的定量测量（如：粘附力测量等等）； 带原位形貌观测的纳米压痕测量(如：梯度表面或超薄薄膜的弹性模量与硬度的定量测量) 。

1、力曲线测量：μN量级微小力的定量测量

2、表面形貌成像观测

　　(纵向分辨率：0.1nm;横向分辨率： 1nm)

3、弹性模量与硬度的纳米压痕测试与原位形貌观测

　　小载荷(μN量级, <10mN) 浅压痕(<200nm)