高性能数值模拟和精细实验相结合，在细致了解蒸气粒子运动轨迹的基础上，设计和优化薄膜沉积工艺。循此思路，我们首先精心研制了多源电子束物理气相沉积系统（IMCAS-MEBPVD）。电子束共沉积制备大面积金属或陶瓷膜，可同时沉积4个组元，每一个过程可最多沉积7种组分。

    基于IMCAS-MEBPVD的优越性能和高性能数值模拟与精细实验相结合的研究思路，我们成功解决了6英寸铜薄膜和钇薄膜沉积中的厚度均匀性问题，并研制了4英寸钛酸锶高K功能薄膜。