进行“纳米/显微/宏观”尺度的仪器化压入和划入，可测试小尺寸块体或薄膜的弹性模量和压入硬度，可测试薄膜临界附着力和摩擦系数。具备原位压痕形貌扫描、刚度扫描和快速压入测试等功能。

压入载荷量程：XP, 500mN；DCM II, 30mN； High Load, 10N。

压入载荷分辨力：XP, 50nN；DCM II, 3nN； High Load, 1mN。

Z向位移分辨力：XP, 0.01nm；DCM II, 0.0002nm； High Load, 0.01nm。

横向载荷量程：250mN。

横向载荷分辨力：2μN。

X-Y平面扫描范围：Survey Scanning, 500μm×500μm；NanoVision, 100μm×100μm。