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| 专利名称: |
多源蒸发物理气相沉积系统 |
| 专利名称英文: |
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| 专利类别: |
发明专利 |
| 申请号: |
2006100018814 |
| 专利号: |
ZL2006100018814 |
| 申请日期: |
2008-5-7 |
| 其它发明人: |
舒勇华、刘宏立 |
| 其它发明人英文: |
Shu Yonghua、Liuhongli |
| 第一发明人: |
樊菁 |
| 第一发明人英文: |
Fan Jing |
| 国外申请日期: |
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| 国外申请方式: |
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| 国外申请方式英文: |
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| 专利授权日期: |
2008-4-16 |
| 缴费情况: |
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| 缴费情况英文: |
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| 实施情况: |
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| 实施情况英文: |
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| 其他备注: |
中创阳光知识产权代理公司 |
| 其他备注英文: |
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| 专利证书号: |
390579 |
| 专利摘要: |
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| 专利摘要英文: |
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| 国外授权日期: |
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| 专利代理人: |
中创阳光知识产权代理公司 |
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